申請?zhí)?專利號: 200580014778
提供一種黃銅礦型薄膜太陽能電池的制造方法,其電極層和由黃銅礦類化合物組成的光吸收層之間的密著性良好,即使形成堿層的堿金屬含有液的濃度較高,此積層結(jié)構(gòu)也穩(wěn)定,且外觀上不會出現(xiàn)問題。本發(fā)明的方法,由如下工序組成:第一工序,其是在Mo電極層(2)上形成通過濺射法而層疊了In金屬層和Cu-Ga合金層的前驅(qū)物質(zhì);向前驅(qū)物質(zhì)附著堿金屬含有液的第二工序、對經(jīng)過第一及第二兩個工序后的襯底(1)進(jìn)行硒化處理的硒化工序;成膜光透過性的導(dǎo)電層的透明電極形成工序。作為堿金屬含有液,可以使用四硼酸鈉、硫化鈉、硫酸鈉鋁等堿金屬化合物的水溶液。
申請人/專利權(quán)人: 本田技研工業(yè)株式會社
申請人地址: 日本東京都